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單晶石墨熱場的中心功能
單晶石墨熱場是單晶硅成長設(shè)備中的中心熱辦理系統(tǒng)，它通過電能轉(zhuǎn)化為熱能，實現(xiàn)硅料熔融及晶體成長溫度的精準(zhǔn)操控，對單晶硅的質(zhì)量、成品率和出產(chǎn)功率具有決定性影響。
高溫熔融：在1414℃以上穩(wěn)定熔化硅料，并維持單晶成長所需的溫度梯度，確保晶體結(jié)構(gòu)完整性。
熱場均勻性：使用石墨的高導(dǎo)熱性實現(xiàn)熱量均勻分布，下降晶體缺陷率，進(jìn)步單晶硅的質(zhì)量。
污染防控：高純度石墨資料可削減熔硅污染，滿足半導(dǎo)體級硅資料對純度的嚴(yán)格要求。
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