真空爐石墨件加工的重要環(huán)節(jié)包括以下幾個方面，這些環(huán)節(jié)直接影響產(chǎn)品的質(zhì)量、功用和壽數(shù)：
1.材料挑選
    石墨純度：高純度石墨（如等靜壓石墨）具有更好的耐高溫性、抗熱震性和化學(xué)穩(wěn)定性，適用于真空環(huán)境。
    密度與強(qiáng)度：依據(jù)運(yùn)用需求挑選合適的石墨密度和機(jī)械強(qiáng)度，確保在高溫文真空條件下不變形或開裂。
2.精細(xì)加工
    CNC加工：石墨較脆，需選用高精度數(shù)控機(jī)床（CNC）進(jìn)行銑削、車削或鉆孔，防止崩邊或裂紋。
    表面光潔度：真空環(huán)境下表面粗糙度需嚴(yán)峻控制，以削減氣體吸附和雜質(zhì)開釋。
    規(guī)范精度：確保加工后的石墨件與真空爐其他部件（如加熱器、隔熱屏）匹配，防止漏氣或熱場不均。
3.清潔處理
    去粉塵：加工后需徹底清除石墨粉塵（如用超聲波清洗或高壓氣體吹掃），防止污染真空體系。
    高溫烘烤：部分運(yùn)用需預(yù)先高溫處理石墨件，去除吸附的氣體和揮發(fā)性雜質(zhì)。
4.涂層或表面處理（可選）
    抗氧化涂層：如碳化硅（SiC）涂層，可進(jìn)步石墨在高溫下的抗氧化性。
    金屬化處理：某些場景需在石墨表面鍍金屬（如鉬、鎢），以改進(jìn)導(dǎo)電性或焊接功用。
5.質(zhì)量檢測
    規(guī)范檢測：運(yùn)用三坐標(biāo)測量儀（CMM）或光學(xué)投影儀驗證要害規(guī)范。
    氣密性查驗：關(guān)于密封部件，需進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏等查驗。
高溫功用查驗：仿照真空爐環(huán)境，檢查石墨件的熱穩(wěn)定性和揮發(fā)物開釋量。
6.設(shè)備與保護(hù)
    無污染設(shè)備：佩戴潔凈手套操作，防止油脂或灰塵污染。
    定時檢查：真空爐工作中需監(jiān)控石墨件的氧化、裂紋或損耗情況，及時替換。
注意事項：
    防止機(jī)械沖擊：石墨脆性高，搬運(yùn)和設(shè)備時需輕拿輕放。
    環(huán)境控制：加工和存儲環(huán)境應(yīng)堅持單調(diào)，防止吸潮影響真空功用。
    經(jīng)過嚴(yán)峻把控以上環(huán)節(jié)，可確保石墨件在真空爐中的可靠性和長壽數(shù)。詳細(xì)工藝需依據(jù)真空爐類型（如單晶爐、燒結(jié)爐等）和用途調(diào)整。